Tempat asal:
Cina
Nama merek:
Ruideer
Sertifikasi:
CE
Nomor model:
630,530,430
Customized Cvd Laboratory Vacuum Furnace Pengendapan Uap Kimia Cvd Coating Furnace
Apa itu Pengendapan Uap Kimia?
Pengendapan uap kimia adalah proses yang melibatkan reaksi prekursor volatil yang disuntikkan ke dalam ruang (biasanya di bawah vakum).Kamar dipanaskan ke suhu reaksi yang menyebabkan gas prekursor bereaksi atau dipecah menjadi lapisan yang diinginkan dan ikatan ke permukaan materialSeiring waktu, bahan pelapis terbentuk di permukaan dan menciptakan lapisan di seluruh permukaan bagian yang terpapar.Jadi misalnya jika kita ingin mengikat silikon ke permukaan kita mungkin ingin menggunakan prekursor triklorosilanKetika trichlorosilane dipanaskan di ruang pelapis reaksi dekomposisi dan pelapis mungkin terlihat seperti ini.
SiHCl3→ Si + Cl2+ HCl
Mesin Lapisan CVDadalah teknik lapisan vakum canggih, yang menggunakan peralatan deposisi kimia untuk mendepositkan lapisan tipis bahan ke permukaan substrat.Jenis peralatan pelapis permukaan ini menawarkan rentang kecepatan pelapis yang luas, dari 0,1 hingga 2,0 m/menit. Ini juga memberikan tekanan pelapis yang tepat dan seragam, dengan stabilitas tekanan -± 2mbar.yang memastikan suhu substrat yang stabil untuk hasil pelapis yang optimal. Seluruh proses dikendalikan oleh sistem PLC, yang memastikan ketebalan pelapis yang tepat dan seragam. Mesin Pelapis CVD ini ideal untuk berbagai aplikasi pelapis CVD.
Model Peralatan | CVD430-1250 | CVD430-1600 | CVD530-1250 | CVD530-1600 | CVD630-1250 | CVD630-1600 |
Ruang efektif (mm) | Φ400X1250 | Φ400X1600 | Φ500X1250 | Φ500X1600 | Φ600X1200 | Φ600X1600 |
Kekuatan pemanasan ((KW) | 39 | 48 | 45 | 55 | 65 | 80 |
Jumlah zona pemanasan | 4 | 5 | 4 | 5 | 4 | 5 |
Jejak peralatan ((mm) | 6000*5800*4800 | 6000*5800*5100 | 6500*6000*4800 | 6500*6000*5100 | 7200*6200*4800 | 7200*6200*5100 |
Suhu proses(°C) | 700-1050 | |||||
Prakurator dan gas proses | TiCL4,AICL3, CH3CN,H2, N2,Ar,CH,CO,CO2HCI, H2S | |||||
Jenis pelapis | TiC,TiN,TiCN,a-AL2O3K-AI2O3 | |||||
Peralatan opsional |
1. Off gas neutraliser (termasuk perangkat evakuasi); 2Distribusi gas tahap kedua (termasuk pipa); 3Stasiun bensin (termasuk pipa) |
• Standar desain
Peralatan ini dirancang sesuai dengan persyaratan kapal bertekanan dari Biro Pengawasan Kualitas dan Teknis, dan memenuhi syarat setelah pengujian tekanan dan dikirim.Desain dan konstruksi listrik memenuhi standar nasional.
• Pengujian pra-pemasangan dan pra-penerimaan
Peralatan ini sepenuhnya dirakit di pabrik kami, termasuk semua pipa, pipa vakum, pipa gas proses, pipa air pendingin, pipa udara terkompresi, dll.Pengujian pra dapat dilakukan setelah pemasanganDi lokasi pelanggan, pipa selain peralatan disediakan oleh pelanggan. Instalasi juga mencakup koneksi semua kabel.kabel utama yang menghubungkan kabinet listrik disediakan oleh pelangganSetelah pemasangan, kami melakukan tes kebocoran vakum dan tekanan positif pada seluruh peralatan, serta tes fungsi mekanik dan listrik.
• Pemecahan dan transportasi
Peralatan akan dibongkar menjadi beberapa bagian besar, dikemas dengan cara yang standar, dan dimuat ke kendaraan transportasi.
• Pemasangan situs pelanggan dan persiyapan
Redel insinyur purna jual akan memimpin tim untuk menyelesaikan komisi, uji produk pembakaran dan pekerjaan lainnya dalam waktu 20 hari kerja.Pelanggan harus membuat persiapan yang tepat dan menyediakan alat yang diperlukan, seperti peralatan angkat dan angkat. dan memberikan dukungan personil instalasi (disarankan untuk memiliki 1 personil mekanik dan 1 personil listrik).
• Penerimaan akhir
Setelah pemasangan dan pengoperasian, peralatan dapat akhirnya diterima sesuai dengan persyaratan kontrak teknis.
• Pelatihan
Insinyur purna jual kami akan memberikan pelatihan secara sistematis dan lengkap di tempat, termasuk operasi, pemeliharaan, pemecahan masalah, dll.
• Pengiriman data teknis
Untuk memastikan operasi dan pemeliharaan peralatan yang aman, data teknis berikut akan diberikan kepada pelanggan:
1. Tata letak instalasi peralatan
2. Panduan pengguna
3. Daftar suku cadang
4Gambar listrik
5. Manual komponen
FAQ
T: Apakah Anda pabrik atau perusahaan perdagangan?
A: Kami adalah produsen tungku vakum suhu tinggi terkemuka di Cina dengan pengalaman lebih dari 10 tahun.
T: Apakah Anda memiliki layanan kustomisasi atau OEM?
A: Ya, kami memiliki tim R & D yang kuat dan peralatan berteknologi tinggi. Jadi kami tidak hanya dapat memasok model biasa, tetapi juga tungku yang dapat disesuaikan sebagai repuirment klien kami.
T: Apa keuntungan Anda?
A:
l Jawaban cepat untuk pertanyaan Anda
L Kontrol kualitas yang tinggi
l Rantai pasokan yang stabil
l Pengiriman tepat waktu
l Layanan purna jual yang sangat baik
Kirim pertanyaan Anda langsung ke kami