HTCVD Silicon Carbide ((CVD SIC) tungku pertumbuhan epitaxy

Peralatan ini digunakan untuk lapisan karbida silikon dari bahan berbasis karbon/keramik,terutama deposisi silikon karbida di permukaan semikonduktor epitaxial susceptor dan cincin etching.

Epitaxial base, sebuah disk grafit murni, dengan alur melingkar untuk memperbaiki substrat wafer.Setelah dimasukkan ke dalam tungku, lapisan film kristal akan tumbuh di permukaan substrat, yang merupakan lapisan epitaxial.Proses wafer seperti litografi dan implan ion semuanya dilakukan pada lapisan epitaxial.

Dasar epitaxial yang terbuat dari grafit jelas tidak dapat memenuhi persyaratan kebersihan yang sangat tinggi dalam proses semikonduktor.Untuk alasan ini, kita perlu menggunakan endapan uap kimia pada dasar untuk membungkus lapisan film silikon karbida padat.

Konfigurasi Opsional

1. Pintu tungku: sekrup / hidrolik / jenis elevasi manual; bukaan ayunan / bukaan paralel ((pintu tungku ukuran besar); manual ketat / otomatis kunci cincin ketat
2Kapal tungku: semua baja karbon/lapisan dalam baja tahan karat/semua baja tahan karat
3Zona panas tungku: felt karbon lunak/felt grafit lunak/felt komposit kaku/CFC
4. elemen pemanasan dan muffle: isostatic press graphite/kualitas tinggi, kekuatan dan kepadatan graphite/ukuran halus graphite
5. Sistem gas proses: volume/massa flow-meter;
6. Termokopel: tipe K/N tipe/C tipe/S tipe

• Standar desain

Peralatan ini dirancang sesuai dengan persyaratan kapal bertekanan dari Biro Pengawasan Kualitas dan Teknis, dan memenuhi syarat setelah pengujian tekanan dan dikirim.Desain dan konstruksi listrik memenuhi standar nasional.

• Pengujian pra-pemasangan dan pra-penerimaan

Peralatan ini sepenuhnya dirakit di pabrik kami, termasuk semua pipa, pipa vakum, pipa gas proses, pipa air pendingin, pipa udara terkompresi, dll.Pengujian pra dapat dilakukan setelah pemasanganDi lokasi pelanggan, pipa selain peralatan disediakan oleh pelanggan. Instalasi juga mencakup koneksi semua kabel.kabel utama yang menghubungkan kabinet listrik disediakan oleh pelangganSetelah pemasangan, kami melakukan tes kebocoran vakum dan tekanan positif pada seluruh peralatan, serta tes fungsi mekanik dan listrik.

• Pemecahan dan transportasi

Peralatan akan dibongkar menjadi beberapa bagian besar, dikemas dengan cara yang standar, dan dimuat ke kendaraan transportasi.

• Pemasangan situs pelanggan dan persiyapan

Redel insinyur purna jual akan memimpin tim untuk menyelesaikan komisi, uji produk pembakaran dan pekerjaan lainnya dalam waktu 20 hari kerja.Pelanggan harus membuat persiapan yang tepat dan menyediakan alat yang diperlukan, seperti peralatan angkat dan angkat. dan memberikan dukungan personil instalasi (disarankan untuk memiliki 1 personil mekanik dan 1 personil listrik).

• Penerimaan akhir
Setelah pemasangan dan pengoperasian, peralatan dapat akhirnya diterima sesuai dengan persyaratan kontrak teknis.

• Pelatihan
Insinyur purna jual kami akan memberikan pelatihan secara sistematis dan lengkap di tempat, termasuk operasi, pemeliharaan, pemecahan masalah, dll.

• Pengiriman data teknis

Untuk memastikan operasi dan pemeliharaan peralatan yang aman, data teknis berikut akan diberikan kepada pelanggan:

1. Tata letak instalasi peralatan
2. Panduan pengguna
3. Daftar suku cadang
4Gambar listrik
5. Manual komponen

FAQ

Apakah Anda pabrik atau perusahaan perdagangan?

T: Apakah Anda pabrik atau perusahaan perdagangan?
A: Kami adalah produsen tungku vakum suhu tinggi terkemuka di Cina dengan pengalaman lebih dari 10 tahun.

Apakah Anda memiliki kustomisasi atau layanan OEM?

T: Apakah Anda memiliki layanan kustomisasi atau OEM?
A: Ya, kami memiliki tim R & D yang kuat dan peralatan berteknologi tinggi. Jadi kami tidak hanya dapat memasok model biasa, tetapi juga tungku yang dapat disesuaikan sebagai repuirment klien kami.

Apa keuntunganmu?

T: Apa keuntungan Anda?
A:

l Jawaban cepat untuk pertanyaan Anda

L Kontrol kualitas yang tinggi

l Rantai pasokan yang stabil

l Pengiriman tepat waktu

l Layanan purna jual yang sangat baik