China CVD Furnace Manufactures, Mesin Lapisan Karbida Silikon

China pabrik tungku CVD lapisan silikon karbida

Peralatan ini digunakan untuk lapisan karbida silikon dari bahan berbasis karbon/keramik,terutama deposisi silikon karbida di permukaan semikonduktor epitaxial susceptor dan cincin etching.

Tungku CVD yang digunakan untuk proses deposisi uap kimia (CVD).Pengendapan uap kimia adalah proses di mana film tipis disimpan pada substrat menggunakan reaksi kimia antara gas prekursor yang menguap dan permukaan yang dipanaskan.

Epitaxial base, sebuah disk grafit murni, dengan alur melingkar untuk memperbaiki substrat wafer.Setelah dimasukkan ke dalam tungku, lapisan film kristal akan tumbuh di permukaan substrat, yang merupakan lapisan epitaxial.Proses wafer seperti litografi dan implan ion semuanya dilakukan pada lapisan epitaxial.

Dasar epitaxial yang terbuat dari grafit jelas tidak dapat memenuhi persyaratan kebersihan yang sangat tinggi dalam proses semikonduktor.Untuk alasan ini, kita perlu menggunakan endapan uap kimia pada dasar untuk membungkus lapisan film silikon karbida padat.

• Standar desain

Peralatan ini dirancang sesuai dengan persyaratan kapal bertekanan dari Biro Pengawasan Kualitas dan Teknis, dan memenuhi syarat setelah pengujian tekanan dan dikirim.Desain dan konstruksi listrik memenuhi standar nasional.

• Pengujian pra-pemasangan dan pra-penerimaan

Peralatan ini sepenuhnya dirakit di pabrik kami, termasuk semua pipa, pipa vakum, pipa gas proses, pipa air pendingin, pipa udara terkompresi, dll.Pengujian pra dapat dilakukan setelah pemasanganDi lokasi pelanggan, pipa selain peralatan disediakan oleh pelanggan. Instalasi juga mencakup koneksi semua kabel.kabel utama yang menghubungkan kabinet listrik disediakan oleh pelangganSetelah pemasangan, kami melakukan tes kebocoran vakum dan tekanan positif pada seluruh peralatan, serta tes fungsi mekanik dan listrik.

• Pemecahan dan transportasi

Peralatan akan dibongkar menjadi beberapa bagian besar, dikemas dengan cara yang standar, dan dimuat ke kendaraan transportasi.

• Pemasangan situs pelanggan dan persiyapan

Redel insinyur purna jual akan memimpin tim untuk menyelesaikan komisi, uji produk pembakaran dan pekerjaan lainnya dalam waktu 20 hari kerja.Pelanggan harus membuat persiapan yang tepat dan menyediakan alat yang diperlukan, seperti peralatan angkat dan angkat. dan memberikan dukungan personil instalasi (disarankan untuk memiliki 1 personil mekanik dan 1 personil listrik).

• Penerimaan akhir

Setelah pemasangan dan pengoperasian, peralatan dapat akhirnya diterima sesuai dengan persyaratan kontrak teknis.

• Pelatihan

Insinyur purna jual kami akan memberikan pelatihan secara sistematis dan lengkap di tempat, termasuk operasi, pemeliharaan, pemecahan masalah, dll.

• Pengiriman data teknis

Untuk memastikan operasi dan pemeliharaan peralatan yang aman, data teknis berikut akan diberikan kepada pelanggan:

1. Tata letak instalasi peralatan

2. Panduan pengguna

3. Daftar suku cadang

4Gambar listrik

5. Manual komponen

FAQ

Apakah Anda pabrik atau perusahaan perdagangan?

T: Apakah Anda pabrik atau perusahaan perdagangan?

A: Kami adalah produsen tungku vakum suhu tinggi terkemuka di Cina dengan pengalaman lebih dari 10 tahun.

Apakah Anda memiliki kustomisasi atau layanan OEM?

T: Apakah Anda memiliki layanan kustomisasi atau OEM?

A: Ya, kami memiliki tim R & D yang kuat dan peralatan berteknologi tinggi. Jadi kami tidak hanya dapat memasok model biasa, tetapi juga tungku yang dapat disesuaikan sebagai repuirment klien kami.

Apa keuntunganmu?

T: Apa keuntungan Anda?

A:

l Jawaban cepat untuk pertanyaan Anda

L Kontrol kualitas yang tinggi

l Rantai pasokan yang stabil

l Pengiriman tepat waktu

l Layanan purna jual yang sangat baik