Tungku pelapis CVD Karbida Silikon untuk perasa grafit atau cincin etching

Tungku pelapis CVD Karbida Silikon untuk perasa grafit atau cincin etching

Peralatan ini digunakan untuk deposisi silikon karbida pada permukaan bahan berbasis karbon/keramik, terutama untuk semikonduktor susceptor dan cincin etching.

Grafit susceptor, sebuah disk grafit kemurnian tinggi, dengan alur melingkar di atasnya untuk memperbaiki substrat wafer. Setelah menempatkan mereka di tungku,lapisan film kristal akan tumbuh di permukaan substrat, yang merupakan lapisan epitaxial.

Proses wafer seperti litografi dan implantasi ion semuanya dilakukan pada lapisan epitaxial.Dasar epitaxial yang terbuat dari grafit jelas tidak dapat memenuhi persyaratan kebersihan yang sangat tinggi dalam proses semikonduktor.

Untuk alasan ini, kita perlu menggunakan endapan uap kimia pada dasar untuk membungkus lapisan film silikon karbida padat.

• Standar desain

Peralatan ini dirancang sesuai dengan persyaratan kapal bertekanan dari Biro Pengawasan Kualitas dan Teknis, dan memenuhi syarat setelah pengujian tekanan dan dikirim.Desain dan konstruksi listrik memenuhi standar nasional.

• Pengujian pra-pemasangan dan pra-penerimaan

Peralatan ini sepenuhnya dirakit di pabrik kami, termasuk semua pipa, pipa vakum, pipa gas proses, pipa air pendingin, pipa udara terkompresi, dll.Pengujian pra dapat dilakukan setelah pemasanganDi lokasi pelanggan, pipa selain peralatan disediakan oleh pelanggan. Instalasi juga mencakup koneksi semua kabel.kabel utama yang menghubungkan kabinet listrik disediakan oleh pelangganSetelah pemasangan, kami melakukan tes kebocoran vakum dan tekanan positif pada seluruh peralatan, serta tes fungsi mekanik dan listrik.

• Pemecahan dan transportasi

Peralatan akan dibongkar menjadi beberapa bagian besar, dikemas dengan cara yang standar, dan dimuat ke kendaraan transportasi.

• Pemasangan situs pelanggan dan persiyapan

Redel insinyur purna jual akan memimpin tim untuk menyelesaikan komisi, uji produk pembakaran dan pekerjaan lainnya dalam waktu 20 hari kerja.Pelanggan harus membuat persiapan yang tepat dan menyediakan alat yang diperlukan, seperti peralatan angkat dan angkat. dan memberikan dukungan personil instalasi (disarankan untuk memiliki 1 personil mekanik dan 1 personil listrik).

• Penerimaan akhir

Setelah pemasangan dan pengoperasian, peralatan dapat akhirnya diterima sesuai dengan persyaratan kontrak teknis.

• Pelatihan

Insinyur purna jual kami akan memberikan pelatihan secara sistematis dan lengkap di tempat, termasuk operasi, pemeliharaan, pemecahan masalah, dll.

• Pengiriman data teknis

Untuk memastikan operasi dan pemeliharaan peralatan yang aman, data teknis berikut akan diberikan kepada pelanggan:

1. Tata letak instalasi peralatan

2. Panduan pengguna

3. Daftar suku cadang

4Gambar listrik

5. Manual komponen