Workingspace: 12-1000L
Max.workingpressureMax.workingpressure (MPA): 1、2、6、10、20
Max.Suhu kerja: 1300℃
Suhu operasi: 1200℃
Kemasan rincian: Kotak kayu
Waktu pengiriman: 5-6 bulan
Zona Pemanasan: Single/Double/Multi
Pengukuran suhu: W-Re 5/26 Thermocouple+Infrared Pyrometer
Ukuran: disesuaikan
Gas masuk: N2,Ar,H2
Maximum static pressure: 1500/2100/2300℃
Dimension of constant temperature zone: Ф160x160 mm/Ф160x200 mm
Suhu kerja maks (℃): 1300
Temperature uniformity(℃): ≤±3
Suhu Kerja Maks.: 1800℃
Max.tekanan kerja: 9,8bar
Process temperature((℃): 700-1050
Precursors and process gases: TiCL4,AICL3,CH3CN,H2,N2,Ar,CH,CO,CO2,HCI,H2S
Waktu Pendinginan: ≤1H/4H/5H/6H/8H (tungku kosong, pendinginan dari suhu sintering 1450-100 ° C) Suhu air-℃, tekanan ai
Ukuran: disesuaikan
Substrat Pelapis: Logam, keramik, kaca, dll.
Adhesi Lapisan: Kuat
Prekursor dan gas proses: Ticl4 、 alcl3 、 ch3cn 、 h2 、 n2 、 ar 、 ch4 、 co 、 co2 、 hcl 、 h2s
Ukuran Peralatan Pelapisan: Dapat disesuaikan
Metode pelapisan: Deposisi Uap Kimia (CVD)
Total Daya: Sekitar 40/50/60/80kw
Total Daya: Sekitar 40/50/60/80kw
Substrat Pelapis: Logam, keramik, kaca, dll.
Waktu Pendinginan: ≤1H/4H/5H/6H/8H (tungku kosong, pendinginan dari suhu sintering 1450-100 ° C) Suhu air-℃, tekanan ai
Suhu Maksimum: 2000℃
Prekursor dan gas proses: Ticl4 、 alcl3 、 ch3cn 、 h2 、 n2 、 ar 、 ch4 、 co 、 co2 、 hcl 、 h2s
Substrat Pelapis: Logam, keramik, kaca, dll.
Kirim pertanyaan Anda langsung ke kami