2026-08-12
Mengapa semikonduktor membutuhkan film tipis?
Sebuah chip tunggal, pada dasarnya, adalah struktur tiga dimensi yang terbentuk oleh tumpukan yang tepat dari ratusan lapisan film tipis.
Setiap lapisan memiliki fungsi tertentu:
| Tipe film tipis |
Fungsi |
Bahan-bahan Tipikal |
| Lapisan konduktif | Melakukan arus listrik dan menghubungkan perangkat | Al, Cu, W, TiN |
| Lapisan isolasi | Isolasi sirkuit dan mencegah kebocoran listrik | SiO2, SiN, Low-k |
| Lapisan penghalang | Mencegah penyebaran dan meningkatkan keandalan | TaN, TiN, W |
| Bahan gerbang | Pergantian perangkat kontrol | Poly-Si, Metal Gate |
| Lapisan pasivasi | Melindungi permukaan dan meningkatkan stabilitas | SiN, SiON |
| Lapisan dielektrik | Simpan muatan listrik untuk mewujudkan fungsi |
|
Teknologi film tipis semikonduktor
Bagaimana film terbentuk?
1Sumber material: target padat, reaktan gas atau prekursor kimia;
2Transportasi: Melalui plasma, vakum, gas pembawa atau difusi;
3Reaksi permukaan: Adsorpsi fisik atau reaksi kimia terjadi pada permukaan wafer;
4. Nukleasi & Pertumbuhan: Agregasi atom untuk nukleasi, pertumbuhan pulau, pembentukan film terus menerus dan pembekuan;
5Pembentukan film: Membentuk film tipis dengan ketebalan yang meningkat, struktur padat dan struktur mikro yang stabil.
![]()
Kirim pertanyaan Anda langsung ke kami