Tungku Lapisan Pengendapan Uap Kimia dengan prekursor TiCL4,AICL3 dan gas proses
CVD Coating Machine adalah teknik lapisan vakum canggih, yang menggunakan peralatan deposisi kimia untuk mendepositkan lapisan tipis bahan ke permukaan substrat.Jenis peralatan pelapis permukaan ini menawarkan rentang kecepatan pelapis yang luas, dari 0,1 hingga 2,0 m/menit. Ini juga memberikan tekanan pelapis yang tepat dan seragam, dengan stabilitas tekanan -± 2mbar.yang memastikan suhu substrat yang stabil untuk hasil pelapis yang optimal. Seluruh proses dikendalikan oleh sistem PLC, yang memastikan ketebalan pelapis yang tepat dan seragam. Mesin Pelapis CVD ini ideal untuk berbagai aplikasi pelapis CVD.
Perbedaan antara proses ALD dan CVD:
ALDadalah teknik pengendapan uap kimia yang didasarkan pada reaksi permukaan yang membatasi diri
Deposit film satu lapisan atom pada suatu waktu
Membutuhkan suhu yang lebih rendah
Berguna dalam produksi semikonduktor dan sirkuit terintegrasi, sel surya film tipis, dan dalam produksi pelapis kinerja tinggi untuk komponen optik.
CVDadalah teknologi pengolahan material yang banyak digunakan di mana film tipis terbentuk pada substrat yang dipanaskan melalui reaksi kimia prekursor fase gas.
Film deposit dengan kisaran ketebalan yang lebih luas
Membutuhkan suhu yang lebih tinggi
Digunakan di bidang seperti optik,mikroelektronika, dan ilmu material, di mana ia membantu dalam pembuatan film tipis dan lapisan untuk perangkat elektronik, deposit lapisan pada lensa dan cermin,dan sintesis berbagai bahan.
| Model Peralatan |
CVD430-1250 |
CVD430-1600 |
CVD530-1250 |
CVD530-1600 |
CVD630-1250 |
CVD630-1600 |
| Ruang efektif (mm) |
Φ400X1250 |
Φ400X1600 |
Φ500X1250 |
Φ500X1600 |
Φ600X1200 |
Φ600X1600 |
| Kekuatan pemanasan ((KW) |
39 |
48 |
45 |
55 |
65 |
80 |
| Jumlah zona pemanasan |
4 |
5 |
4 |
5 |
4 |
5 |
| Jejak peralatan ((mm) |
6000*5800*4800 |
6000*5800*5100 |
6500*6000*4800 |
6500*6000*5100 |
7200*6200*4800 |
7200*6200*5100 |
| Suhu proses(°C) |
700-1050 |
| Prakurator dan gas proses |
TiCL4,AICL3, CH3CN,H2, N2,Ar,CH,CO,CO2HCI, H2S |
| Jenis pelapis |
TiC,TiN,TiCN,a-AL2O3K-AI2O3 |
| Peralatan opsional |
1. Off gas neutraliser (termasuk perangkat evakuasi);
2Distribusi gas tahap kedua (termasuk pipa);
3Stasiun bensin (termasuk pipa)
|
• Standar desain
Peralatan ini dirancang sesuai dengan persyaratan kapal bertekanan dari Biro Pengawasan Kualitas dan Teknis, dan memenuhi syarat setelah pengujian tekanan dan dikirim.Desain dan konstruksi listrik memenuhi standar nasional.
• Pengujian pra-pemasangan dan pra-penerimaan
Peralatan ini sepenuhnya dirakit di pabrik kami, termasuk semua pipa, pipa vakum, pipa gas proses, pipa air pendingin, pipa udara terkompresi, dll.Pengujian pra dapat dilakukan setelah pemasanganDi lokasi pelanggan, pipa selain peralatan disediakan oleh pelanggan. Instalasi juga mencakup koneksi semua kabel.kabel utama yang menghubungkan kabinet listrik disediakan oleh pelangganSetelah pemasangan, kami melakukan tes kebocoran vakum dan tekanan positif pada seluruh peralatan, serta tes fungsi mekanik dan listrik.
• Pemecahan dan transportasi
Peralatan akan dibongkar menjadi beberapa bagian besar, dikemas dengan cara yang standar, dan dimuat ke kendaraan transportasi.
• Pemasangan situs pelanggan dan persiyapan
Redel insinyur purna jual akan memimpin tim untuk menyelesaikan komisi, uji produk pembakaran dan pekerjaan lainnya dalam waktu 20 hari kerja.Pelanggan harus membuat persiapan yang tepat dan menyediakan alat yang diperlukan, seperti peralatan angkat dan angkat. dan memberikan dukungan personil instalasi (disarankan untuk memiliki 1 personil mekanik dan 1 personil listrik).
• Penerimaan akhir
Setelah pemasangan dan pengoperasian, peralatan dapat akhirnya diterima sesuai dengan persyaratan kontrak teknis.
• Pelatihan
Insinyur purna jual kami akan memberikan pelatihan secara sistematis dan lengkap di tempat, termasuk operasi, pemeliharaan, pemecahan masalah, dll.
• Pengiriman data teknis
Untuk memastikan operasi dan pemeliharaan peralatan yang aman, data teknis berikut akan diberikan kepada pelanggan:
1. Tata letak instalasi peralatan
2. Panduan pengguna
3. Daftar suku cadang
4Gambar listrik
5. Manual komponen
FAQ
Apakah Anda pabrik atau perusahaan perdagangan?
T: Apakah Anda pabrik atau perusahaan perdagangan?
A: Kami adalah produsen tungku vakum suhu tinggi terkemuka di Cina dengan pengalaman lebih dari 10 tahun.
Apakah Anda memiliki kustomisasi atau layanan OEM?
T: Apakah Anda memiliki layanan kustomisasi atau OEM?
A: Ya, kami memiliki tim R & D yang kuat dan peralatan berteknologi tinggi. Jadi kami tidak hanya dapat memasok model biasa, tetapi juga tungku yang dapat disesuaikan sebagai repuirment klien kami.
Apa keuntunganmu?
T: Apa keuntungan Anda?
A:
l Jawaban cepat untuk pertanyaan Anda
L Kontrol kualitas yang tinggi
l Rantai pasokan yang stabil
l Pengiriman tepat waktu
l Layanan purna jual yang sangat baik
Pesan Anda harus antara 20-3.000 karakter!
