Ruang reaksi: | 2 Pcs | Suhu maksimum:: | 1100℃ |
---|---|---|---|
Suhu kerja: | 900-1050°C | Kekuatan Total: | sekitar 75KW |
Daya Pemanasan: | sekitar 55KW | Ukuran efektif ruang reaksi: | φ500mm×1500 mm; |
Cahaya Tinggi: | Mesin Pelapis CVD 530L,Mesin Pelapis CVD RDE,Peralatan Pelapis Cvd Dua Ruang Reaksi |
1.PeralatanKekuatans
1.1 Mode Otomatis.Menurut pengaturan proses, masing-masing komponen dan proses dikontrol secara otomatis.Kontrol otomatis termasuk sakelar katup, kontrol aliran gas proses, kontrol aliran cairan proses, kontrol tekanan reaktor, tungku pemanas dan kontrol suhu sabuk pemanas listrik, dll., Tanpa campur tangan manusia dalam keseluruhan proses.Proses operasi otomatis mewujudkan pemrosesan alarm otomatis.Menurut jenis alarm yang berbeda, secara otomatis akan masuk ke mode alarm untuk melindungi produk di tungku.Setelah alarm dilepas, dapat dikembalikan secara manual ke keadaan sebelum alarm berbunyi.
1.2.Proses dipantau sepanjang proses, semua data sensor dan status katup disimpan ke data historis, yang dapat dilihat kapan saja.
1.3.Mode manual.Ada interlock pengaman, yang secara otomatis mewujudkan kunci sesuai dengan jenis gas dan suhu di dalam reaktor, dan reaktor tidak dapat dibuka sesuka hati.Mode manual diatur dengan operasi satu tombol, seperti menyedot debu, H2bersihkan, N2pembersihan, dll., tidak perlu memindahkan katup individu dan pompa vakum secara manual.
1.4.Data alarm disimpan secara otomatis, dan data historis dapat diambil kapan saja.
2. Lingkungan kerja pabrik
2.1 Kelembaban dan suhu sekitar
2.1.1 Kelembaban sekitar: <90% (pada +35°C)
2.1.2 Suhu sekitar: 5℃~40℃
2.2 Catu daya
2.2.1 Catu daya: 380V±10%, 50Hz, sistem lima kabel tiga fase
2.2.2 Catu daya kontrol: 210V~250V, 50Hz, fase tunggal
2.3 Sumber udara
2.3.1 Tekanan udara terkompresi: 6-7bar,
2.3.2 Tekanan ar: 2-3bar,
2.3.3 H2tekanan dan aliran: 2-3bar, 0-75slm
2.3.4 N2tekanan dan aliran: 2-3bar, 0-50slm
2.3.5 Tekanan dan aliran CO2: 2—3bar, 0-2,5slm
2.3.6 CO2tekanan dan aliran: 2-3bar, 0-5slm
2.3.7 CH4tekanan dan aliran: 2-3bar, 0-5slm
2.3.8 Tekanan dan aliran HCl: 2-3bar, 0-5slm
2.3.9 H2S tekanan dan aliran: 2-3bar, 0-0,4slm
2.4 Sumber air
2.4.1 Tekanan masuk air pendingin: 2-3bar, direkomendasikan air murni.Suhunya 13-16°C.(Pelanggan perlu dilengkapi dengan air dingin), aliran air pendingin, 5m3/h.
2.4.2 Sumber air siaga darurat (untuk disiapkan oleh pengguna)
Tekanan: 1,5bar—2bar.