Mesin Pelapis CVD RDE 530L Sangat Otomatis Dengan Dua Ruang Reaksi

Tungku Lapisan CVD RDE 530L Sangat Otomatis Dengan Dua Ruang Reaksi

1.PeralatanKekuatans

1.1 Mode Otomatis.Menurut pengaturan proses, masing-masing komponen dan proses dikontrol secara otomatis.Kontrol otomatis termasuk sakelar katup, kontrol aliran gas proses, kontrol aliran cairan proses, kontrol tekanan reaktor, tungku pemanas dan kontrol suhu sabuk pemanas listrik, dll., Tanpa campur tangan manusia dalam keseluruhan proses.Proses operasi otomatis mewujudkan pemrosesan alarm otomatis.Menurut jenis alarm yang berbeda, secara otomatis akan masuk ke mode alarm untuk melindungi produk di tungku.Setelah alarm dilepas, dapat dikembalikan secara manual ke keadaan sebelum alarm berbunyi.

1.2.Proses dipantau sepanjang proses, semua data sensor dan status katup disimpan ke data historis, yang dapat dilihat kapan saja.

1.3.Mode manual.Ada interlock pengaman, yang secara otomatis mewujudkan kunci sesuai dengan jenis gas dan suhu di dalam reaktor, dan reaktor tidak dapat dibuka sesuka hati.Mode manual diatur dengan operasi satu tombol, seperti menyedot debu, H₂bersihkan, N₂pembersihan, dll., tidak perlu memindahkan katup individu dan pompa vakum secara manual.

1.4.Data alarm disimpan secara otomatis, dan data historis dapat diambil kapan saja.

2. Lingkungan kerja pabrik

2.1 Kelembaban dan suhu sekitar

2.1.1 Kelembaban sekitar: <90% (pada +35°C)

2.1.2 Suhu sekitar: 5℃～40℃

2.2 Catu daya

2.2.1 Catu daya: 380V±10%, 50Hz, sistem lima kabel tiga fase

2.2.2 Catu daya kontrol: 210V～250V, 50Hz, fase tunggal

2.3 Sumber udara

2.3.1 Tekanan udara terkompresi: 6-7bar,

2.3.2 Tekanan ar: 2-3bar,

2.3.3 H₂tekanan dan aliran: 2-3bar, 0-75slm

2.3.4 N₂tekanan dan aliran: 2-3bar, 0-50slm

2.3.5 Tekanan dan aliran CO2: 2—3bar, 0-2,5slm

2.3.6 CO₂tekanan dan aliran: 2-3bar, 0-5slm

2.3.7 CH₄tekanan dan aliran: 2-3bar, 0-5slm

2.3.8 Tekanan dan aliran HCl: 2-3bar, 0-5slm

2.3.9 H₂S tekanan dan aliran: 2-3bar, 0-0,4slm

2.4 Sumber air

2.4.1 Tekanan masuk air pendingin: 2-3bar, direkomendasikan air murni.Suhunya 13-16°C.(Pelanggan perlu dilengkapi dengan air dingin), aliran air pendingin, 5m³/h.

2.4.2 Sumber air siaga darurat (untuk disiapkan oleh pengguna)

Tekanan: 1,5bar—2bar.